[딜사이트 이세연 기자] 반도체 열처리 및 고압공정 전문기업 예스티가 고압산화공정장비(HPO) 개발을 본격 추진한다. 압력·온도 제어 기술 등 그간 축적해온 노하우를 바탕으로 상용화 시기를 앞당기겠다는 계획이다.

예스티가 산업통상자원부가 주관하는 '수직적층 메모리 대응 고압 습식 산화 공정의 부품·통합 모듈 및 평가기술 개발' 국책 과제의 총괄 주관 기관으로 선정됐다고 1일 밝혔다. 이번 과제를 통해 예스티는 차세대 메모리 반도체 생산에 필수적인 고압산화공정장비 개발을 본격 추진한다.

이번 사업에는 지오엘리먼트, 뷰온 등 반도체 장비·검사 전문기업 및 전자기술연구원(KETI)이 공동 참여하며, 글로벌 톱티어 반도체 기업 2곳이 수요기업으로 참여해 장비 및 공정 검증을 함께 진행할 예정이다.

고압산화공정은 메모리 집적도 향상과 미세 패턴화를 위해 기존 고온 산화 공정에서 발생하는 패턴 붕괴와 웨이퍼 휨 현상을 해결할 수 있는 차세대 기술로 주목 받고 있다. 다만 파티클 발생, 저온 산화막 두께 확보, 균일도 유지 등 기술적 난제가 있어 상용화가 지연돼 왔다. 특히 한 글로벌 톱티어 파운드리 기업은 지난 2년간의 테스트 끝에 고압산화공정 적용을 잠정 중단한 것으로 알려졌다. 다른 글로벌 기업들 역시 공정 조건 확보에 난항을 겪고 있는 상황이다.

예스티는 오랜 기간 축적한 압력·온도 제어 기술과 고압어닐링 장비 개발 경험을 바탕으로 고압산화공정용 알파기를 제작해 글로벌 고객사와 웨이퍼 테스트를 진행, 공정 조건을 확보하고 관련 특허들의 출원을 완료했다. 이번 과제를 통해 예스티는 고압산화공정 전용 부품 및 검사 기술을 단기간에 개발하고, 장비 상용화를 앞당길 계획이다.

예스티 관계자는 "고압산화공정장비는 차세대 메모리 생산에 핵심적인 역할을 할 장비"라며 "이번 국책과제는 예스티가 글로벌 반도체 고객사들과 긴밀히 협력해 기술 난제를 해결하고 국산화 경쟁력을 강화하는 계기가 될 것"이라고 밝혔다.

한편 예스티는 고압수소어닐링 장비 국책과제를 성공적으로 수행해 생산성과 공정 성능을 크게 향상시킨 바 있다. 현재 글로벌 반도체 기업들과 팹인(Fab-in) 양산 테스트 및 수주 협의가 진행 중이다.