[딜사이트 민승기 기자] 코스닥 상장사 '예스티'가 HPSP의 특허를 침해하지 않았다는 특허심판원의 판단으로 시장 진출에 유리한 고지를 차지했다. 이번 특허심판원의 결정으로 고압어닐링장비 시장 진출을 본격화한다는 방침이다.

28일 관련 업계에 따르면 예스티는 고압어닐링장비의 개폐장치 관련 HPSP의 특허에 대해 소극적권리범위확인심판을 청구했고 최근 모두 인용 결정을 받았다. 해당 심판 청구가 인용됐다는 것은 예스티가 HPSP의 특허를 침해하지 않는다는 것을 의미한다.

앞서 예스티는 2023년 HPSP가 제기한 특허침해소송에 대응해 해당 특허에 대해 3건의 소극적 권리범위확인심판을 제기했다. 하지만 특허심판원은 지난해 10월 예스티의 청구내용이 침해여부를 판단할 만큼 구체적이지 않다는 이유로 각하했다. 이후 예스티는 2건의 소극적권리범위확인심판을 제기했고 모두 인용됐다.

2건의 심판을 통해 판단된 예스티의 확인대상발명들은 외부회전체결링이 없고, 외부도어 자체가 회전하는 방식인 구조와 외부회전체결링이 없을 뿐만 아니라 도어가 1개인 '원도어 구조' 등이다. 특허심판원은 이 2가지 제품의 구조가 모두 HPSP의 특허와 다르고 HPSP의 특허를 침해하지 않는다고 판단했다.

예스티 관계자는 "당사의 확인대상발명들은 HPSP의 특허발명의 개폐장치와는 전혀 상이한 기술적 특징과 구조를 통해, 반도체 공정상에서 필수적인 밀폐 기능을 달성하며, 안정적이고 신뢰성 높은 공정을 가능하게 한다"며 "특허심판원에서도 이러한 확인대상발명의 특징과 실시가능성을 인정해 당사의 청구를 모두 인용했다"고 말했다.

예스티는 이번 특허심판원의 결정으로 고압어닐링장비 시장에 본격 진출한다는 계획이다. 예스티는 그동안 글로벌 반도체회사들과 수백회의 양산 전 PW(Product Wafer) 테스트를 진행해 왔지만 특허소송 등이 발목을 잡았다.

예스티 관계자는 "이번 심결을 계기로 고객사들과의 양산 테스트가 빠르게 진행될 것으로 예상되며 양산테스트 후 빠르면 연내에 가시적인 성과를 거둘 수 있을 것"이라며 "예스티는 고압전문기업으로 수십에서 수백기압을 다루는 장비를 제조해 왔으며, 안전인증을 비롯한 양산 테스트 준비도 마친 상태"라고 말했다.

한편, 예스티는 소극적권리범위확인심판 뿐만 아니라 특허 무효심판도 계속 이어간다는 방침이다. 앞서 예스티는 특허 무표심판을 청구했지만 기각된 바 있다.

예스티 관계자는 "무효심판 기각 이후 심결취소소송을 제기했다"며 "새로운 무효 증거를 제출했고, 특허법원에서는 명확히 무효로 판단될 것"이라고 강조했다.