[딜사이트 이세연 기자] 반도체 장비업체 세메스가 매엽식 세정 기술력을 바탕으로 장비 판매를 늘리고 있다. 정부로부터 '국가핵심기술'로 지정되는 등 경쟁력을 입증했다는 평가다.

세메스는 국내 최초로 '반도체 매엽식 세정장비'의 양산 판매 대수가 2500호기를 넘어섰다고 1일 밝혔다. 2006년 7월 첫 양산 개발 이후 누적 매출은 7조원을 넘어선 것으로 집계됐다.

매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 미세해짐에 따라, 웨이퍼 표면에 남은 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다.

세메스의 매엽식 세정장비로는 IRIS, BLUEICE, LOTUS, PURESYS(초임계) 등이 있으며, 주요 기술에 대해 국가핵심기술 판정을 받았다.

회사 측은 "이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰다"며 "웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다"고 설명했다.

김경현 세메스 클린팀장은 "앞으로 다양한 공정기술이 융복합된 신제품 개발 및 친환경 설비경쟁력 확보를 통해 명실상부한 반도체 세정장비 리딩컴퍼니로 도약하겠다"고 말했다.

한편 세메스는 지난 2014년 세계 최초로 반도체 초임계 세정장비를 양산해, 정부로부터 국가핵심기술 판정을 받은 바 있다.