고압 어닐링 장비 검색결과 - 딜사이트

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검색결과 [총 3건]

예스티 "특허심판원, HPSP 고압어닐링장비 특허 최종무효 판정" 반도체 장비 전문기업 예스티는 특허심판원이 경쟁사 HPSP의 고압어닐링장비(HPA) 이중벽 구조에 관한 특허(제0766303호, 이하 303 특허)에 대해 최종 무효 판정을 내렸다고 29일 밝혔다. 코스닥 상장사 예스티는 앞서 2023년 12월 해당 특허에 대한 특허무

딜사이트 권녕찬 기자 2026.05.29 09:48:52

#예스티 #고압어닐링장비 #HPA

HPSP, D램 공정 효율성 떨어져…"삼성 대량 납품 힘들 듯" HPSP가 매출 다변화를 위해 파운드리가 아닌 D램용 고압수소어닐링(HPA) 장비를 삼성전자 등 메모리반도체 기업에 보내 테스트 중이지만 긍정적인 평가를 받을 수 있을지 미지수다. HPSP 장비는 한 번에 75매 웨이퍼만 처리 가능해, 대량 생산 체제인 D램 공정에서는

딜사이트 이세연 기자 2026.04.13 09:00:16

#HPSP #어닐링 #고압수소

예스티, HPA 첫 출하…글로벌 반도체 시장 공략 반도체 장비 전문기업 '예스티'가 독자 개발한 고압어닐링장비(HPA)를 처음으로 출하하며 글로벌 반도체 시장 공략 신호탄을 쏘아 올렸다. 코스닥 상장사 '예스티'는 양산 테스트를 위한 75매 고압어닐링장비를 글로벌 고객사 기업에 성공적으로 인도(Fab-in)했다고 23

딜사이트 권녕찬 기자 2026.03.23 15:40:56

#예스티 #고압어닐링장비 #HPA

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