[딜사이트 민승기 기자] 시노펙스가 전량 수입되는 첨단 반도체용케미컬 필터 국산화에 나선다.

시노펙스는 지난 17일 '첨단 반도체 필터 생산 센터' 준공식을 개최하고 최근 10나노 케미컬 필터 개발에 성공했다고 18일 밝혔다.

첨단 반도체 생산에 사용되는 케미컬필터는 ePTFE소재로 제작되며 반도체 생산공정에서 사용되는 불산, 황산 같은 강산과 200도 이상의 고온에서 견디면서 불순물을 제거하는 역할을 한다.

현재 케미컬필터에 사용되는 ePTFE소재는 미국 기업이 전 세계 시장을 과점 하고 있으며 국내기업에는 20나노 이하의 첨단 필터용 소재를 판매하지 않고 있어 전량 수입에 의존하고 있는 상황이다.

이러한 상황에서 시노펙스는 2020년 8월 총 사업비 164억원 규모의 국책과제로 '반도체 공정용 불소수지계나노 여과모듈 개발(과제명)'을 시작해 2024년 1월에는 15나노 케미컬 필터를 개발하는데 성공했다.

최근에는 국내 최초로 성인머리카락 두께(100마이크로)의 1만분의 1에 해당하는 10나노급 첨단케미컬 필터를 개발하는데 성공했다.

시노펙스는 이번에 준공한 '첨단 반도체 필터 생산 센터'를 통해 2025년 1분기부터 15나노 및 10나노 케미컬 필터를 양산한다는 계획이다.

손경익 시노펙스 대표는 "반도체 세정 공정에서 나노급 입자를 완벽하게 제거하는 케미컬 필터는 첨단 반도체 산업의 핵심 후방산업으로 그동안 전량 수입에 의존해 왔다"며 "이번 생산 센터 준공으로 세계 최고 수준의 나노급케미컬 필터를 국내에서 생산하고 공급할 수 있는 기반을 마련했다"고 강조했다.

이어 "이를 통해 반도체 산업의 안정적인 공급망 구축은 물론, 글로벌 시장에서 국내 반도체 기업의경쟁력 강화에 기여해 나가겠다"고 덧붙였다.

한편, 시노펙스는 10나노 필터 등 개발 제품과 관련된 3건의 특허를 획득했다. 이외에도 4건의 특허등록을 앞두고 있는 등 지적재산권 확보 노력에도 박차를 가하고 있다.