[딜사이트 민승기 기자] 시노펙스는 자체 개발 10나노 반도체용 케미컬 필터를 '세미콘코리아 2025(2월19일~21일, 코엑스)'에 출품했다고 18일 밝혔다. 세미콘코리아는 반도체 관련 국내 최대 규모 전시회로 올해는 전세계 반도체 관련 약 500개 기업이 참가할 예정이다.

시노펙스는 이번 전시회에 ▲15나노 및 10나노 반도체용 케미컬 필터 2종 ▲70나노 및 50나노 CMP필터 2종 ▲Post- CMP필터 1종 등 반도체 생산 공정에 사용되는 첨단 필터들을 전시할 계획이다.

10나노 반도체용 케미컬 필터는 국책과제를 통해 2020년부터 개발을 시작, 지난해 말 국내 최초로 제품 개발에 성공한 제품이다. 시노펙스는 지난해 말 동탄사업장에 '첨단 반도체 필터 생산 센터'를 준공하고 고객사와 제품에 대한 평가를 진행하고 있다. 올해 1분기까지 평가를 마치고 2분기 이후에는 제품을 시장에 공급한다는 계획이다.

CMP필터는 시노펙스가 글로벌 반도체 제조기업에 공급하고 있는 제품이다. 기존에 공급하는 70나노 제품을 업그레이드한 50나노 제품을 선보일 예정이다.

시노펙스는 CMP공정 이후 세정공정에 사용되는 Post- CMP 필터도 이번 전시회를 통해 공개한다. Post-CMP필터는 제약, 식음료 분야에 사용되는 PES 멤브레인을 적용한 제품으로 이번에 전시되는 제품은 0.2마이크로 PES 멤브레인을 적용했다.

석유민 시노펙스 산업용필터 사업그룹 상무는 "이번에 출품하는 제품은 그동안 전량 수입에 의존하던 제품을 시노펙스가 국산화에 성공한 제품들"이라며 "좋은 품질의 제품을 경쟁력 있는 가격으로 공급하기 위해 노력하겠다"고 말했다.