[딜사이트 한보라 기자] 글로벌 반도체 장비회사 ASM이 24일 경기도 화성시에서 제2제조연구혁신센터 기공식을 개최했다. 현재 한국에서만 연구개발(R&D) 및 생산 거점을 두고 있는 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비 시장의 성장성을 높게 평가한 것으로 풀이된다.

이날 기공식에는 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 김완기 산업통상자원부 무역투자실장, 양향자 의원, 김경희 화성시의회 의장, 신미숙 경기도의회 의원을 비롯해 요아나 도너바르트(Joanne Doornewaard) 주한 네덜란드 대사 등 정‧재계 주요 인사 150여명이 참석했다.

ASM은 세계 1위 원자층증착(ALD) 장비 제조사다. 네덜란드 노광장비(EUV) 기업 ASML도 ASM에 뿌리를 두고 있다. 

지난 2월 ASM은 산자부와 업무협약(MOU)을 맺고 1억달러(약 1300억원) 규모의 투자 협력 양해각서(MOU)를 체결했다. 이에 따라 ASM은 경기도 화성시에 보유하고 있는 유휴 부지에 3만1000㎡ 규모, 8층 건물을 새롭게 세운다. 오는 2025년 증축 및 증설이 끝나면 ASM 화성 연구혁신센터의 연구개발 공간은 2배 이상, 제조 공간은 3배 가까이 확대될 전망이다.

이날 기공식에서 벤자민 로(Benjamin Loh) ASM 최고경영자(CEO)는 "한국은 PEALD 사업을 위한 글로벌 센터"라며 "ASM 한국 R&D팀에서 개발한 PEALD 기술은 전 세계에서 가장 발전된 반도체 제조에 필수적"이라고 강조했다. 이어 "화성 지역에 대한 투자는 한국 사업을 지속 성장시키겠다는 약속"이라고 덧붙였다.

김 경기도지사는 기공식 축사를 통해 "지난해 폴 베르하겐(Paul Verhagen) ASM 최고재무책임자(CFO)에게 경기도 투자 확대를 요청했었는데 이렇게 연구혁신센터 증설로까지 이어져서 매우 기쁘게 생각한다"고 말했다.

한편, ASM은 향후 3년간 경기도 화성시인재육성재단에 1억원을 기부한다. 화성시인재육성재단의 방침은 과학‧기술‧엔지니어링‧수학(STEM) 교육, 인재 개발 및 평생 학습 기회를 장려하는 ASM의 핵심 가치와 부합한다.