[딜사이트 배지원, 노우진 기자] 국내 유일의 극자외선(EUV) 반도체 장비 기업 이솔이 기업공개(IPO)에 본격 돌입했다. 이솔은 EUV 광원부터 광학, 소프트웨어, 나노 시스템까지 핵심 요소를 자체 개발할 수 있는 기술 기업으로 업계에서는 한국의 'ASML'로 불린다. 최근 시장에서 반도체 장비회사 상장에 대한 기대감이 높아지면서 이솔의 성장 잠재력도 높게 평가되고 있다.

6일 투자은행(IB) 업계에 따르면 이솔은 최근 IPO 주관사 선정을 위한 프레젠테이션(PT)을 마치고 최종 결과를 기다리고 있다. 미래에셋증권, KB증권 등 주요 증권사들이 참여해 경쟁 구도가 형성됐다. 이솔은 소형 방사광가속기 기반 EUV 기술 분야에서 국내에서는 유일하고, 글로벌 기준으로도 네 번째로 꼽히는 기업이다.  이 분야에서는 'ASML'라는 네덜란드의 대형 반도체 공정 장비 제조 기업이 유명하다. 이솔은 한국의 ASML로 불리며 소형 방사광가속기 분야에서 독보적인 기술력을 가진 국내 유일, 세계 네 번째 극자외선(EUV) 반도체 장비 회사로 자리매김 했다.

지난해에는 강원 원주시로부터 소형 방사광가속기와 첨단 EUV 반도체 검사장비 연구·생산시설 구축을 위해 총 505억원 규모의 투자를 유치하면서 사업 인프라도 강화했다. 지난해 7월에는 740억원 규모의 시리즈B 투자를 유치해 약 3000억원 이상의 기업가치를 인정받았다.

이솔의 핵심 제품은 EUV용 포토마스크 미세 결함을 검증하는 리뷰 장비인 FREM(FLEX-RAY EUV Microscope)이다. 반도체 포토마스크는 미세 회로 패턴이 새겨진 원판으로, 결함이 있으면 그대로 웨이퍼에 전사돼 수율에 직접적인 타격을 준다. FREM은 마스크를 노광기에 투입하기 전 결함 유무를 최종 판정하는 장비다. EUV 광원, 입사각, 수치개구수(NA) 등 주요 변수를 실제 노광 환경과 동일하게 구현해 실제 인쇄 결과를 사전에 확인할 수 있다.

이 장비는 지난해 일본 최대 포토마스크 제조업체와 공급 계약을 체결하며 상용화 성과를 냈다. 장비 가격은 수백억원대다. 이번 수주는 글로벌 최고 수준의 경쟁사를 제치고 이뤄졌다는 점에서 의미가 크다. 이솔은 약 1년 6개월간의 고객사 평가를 거쳐 독일 칼자이즈와 미국 EUV 장비 업체와의 경쟁에서 최종적으로 선택됐다. 마스크 리뷰 장비 시장은 그동안 '칼자이즈'가 사실상 독점해왔다. 

이솔은 앞서 삼성전자에 FREM과 유사한 기능을 수행하는 'SREM'을 공급하기도 했다. FREM은 SREM의 광원과 광학계를 전면 재설계한 차세대 모델로 평가받고 있다.

이솔은 반도체를 넘어 의료, 바이오, 첨단 소재 등 다양한 산업으로의 응용 가능성도 갖췄다. 연평균 22% 성장세를 보이는 EUV 장비 시장에서 글로벌 마스크 회사들에 납품 실적을 쌓으면서 융합형 장치산업의 핵심 기업으로 자리매김하고 있다는 평가다. 

지배구조 측면에서는 코스닥 상장사 에프에스티가 최대주주로, 이솔 지분 38.14%를 보유하고 있다. 이솔은 EUV 펠리클과 칠러 등을 다루는 에프에스티의 계열사다. 2018년 설립된 이솔은 삼성전자 마스크 분야 전문가인 김병국 대표와 이동근 최고기술책임자(CTO)가 이끌고 있다.