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시노펙스, 국내 최초 나노급 ePTFE 생산시설 구축
강동원 기자
2023.03.21 14:05:38
20나노 초미세 가공 필터 생산 가능…3조 시장 공략 기대
손경익 시노펙스 대표(사진 왼쪽부터)와 정민재 부사장, 석유민 상무가 나노급 ePTFE 생산설비 준공식에서 기념 촬영을 하고 있다. (사진=시노펙스)

[딜사이트 강동원 기자] 시노펙스가 그간 전량 수입에 의존하던 나노급 ePTFE(확장형 폴리테트라플루오로에틸렌) 필터 국산화에 앞장선다.


시노펙스는 ePTFE 필터 생산이 가능한 설비 개발에 성공, 공장 준공식을 가졌다고 21일 밝혔다. 충남 천안시 서북구에 위치한 천안사업장에서 열린 준공식에는 손경식 시노펙스 대표 등 주요 관계자들이 참석했다.


이번에 개발된 ePTFE 생산설비는 성인 머리카락 두께의 0.0002% 이하인 20나노 초미세 기공 필터 생산이 가능하다. 앞서 시노펙스는 100나노급 이상의 ePTFE 필터와 앱솔루트 MB필터 생산라인을 가동했다. 회사는 올해 말까지 10나노 이하의 최첨단 ePTFE 필터 제품을 개발할 예정이다.


시노펙스는 이미 글로벌 반도체 기업에 CMP 필터를 공급하며 기술력을 인정받았다. 고객으로부터 나노급 반도체 생산에 필요한 나노급 ePTFE 필터 공급을 요청받아 지난 2020년부터 개발을 시작해 약 3년 동안의 기술개발과 투자를 통해 이번 성과를 이뤄냈다.

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고어텍스로 알려진 ePTFE는 약 250도의 고온에서도 변화가 없으며 불산과 황산 같은 강산에서도 견디는 첨단 소재다. 하지만 나노급의 ePTFE 필터의 경우 첨단 반도체 제조 공정에 필수적으로 사용되고 있으나 현재까지는 필터 1개당 1000만원이 넘는 고가 임에도 전량 수입에 의존하고 있다.


ePTFE는 반도체 생산 공정 외에도 바이오, 제약, 수소연료전지, 고청정 크린룸용 울파(ULPA) 필터, 인공혈관, 5G 통신케이블 등 다양한 산업 분야에서 사용되고 있으며 글로벌 시장규모는 연간 약 3조원 이상으로 예상되고 있다.


석유민 시노펙스 R&D 센터장(박사)은 "이번 나노급 ePTFE 생산 설비 개발을 위해 사내에 메카트로닉스 센터를 설치하고 설계부터 장비제작 설치까지 전 분야를 자체 기술과 역량으로 개발했다"며 " 재 전량 수입에 의존하고 있는 나노급 ePTFE 필터의 국산화를 통해 국가 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여하겠다"고 말했다.

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