Home
[딜사이트 박준우 기자] 코스닥 상장사 '에이루트'는 반도체 장비 자회사 ‘앤에스알시’가 중국 대형 반도체 제조기업의 생산공장에 투입되는 노광장비의 현지 셋업을 진행 중이라고 29일 밝혔다.
이번 셋업은 앤에스알시는 지난 6월 중국 현지 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 수주한 중국 A사의 ArF(불화아르곤) 설치·운영 기술용역에 따른 것이다.
노광장비는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 구현하는 전공정 장비다. ArF 장비는 i-line(아이라인)과 KrF(불화크립톤) 장비보다 미세한 회로 패턴을 구현할 수 있다. 장비의 정밀도와 설치 안정성이 생산라인 운영에 영향을 미치는 만큼 현지 셋업과 후속 기술 대응이 중요하다는 게 회사 측 설명이다.
회사 측은 중국 반도체 기업의 설비투자와 공정 고도화 과정에서 리퍼비시 장비 수요가 이어질 것으로 보고 있다. 신규 장비 확보가 제한적인 성숙·특화공정에서는 납기와 비용 부담을 줄일 수 있는 리퍼비시 장비가 대안이 될 수 있다는 설명이다.
앤에스알시 관계자는 “현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 계획”이라며 “이번 중국 반도체 대기업향 ArF 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증할 것”이라고 말했다.
한편, 에이루트는 이달 26일 앤에스알시를 흡수합병하기로 결정했다. 합병기일은 2027년 1월 1일이다.
전체 내용과 맥락을 이해하기 위해서는 기사 본문과 함께 읽어주세요
ⓒ새로운 눈으로 시장을 바라봅니다. 딜사이트 무단전재 배포금지
