[딜사이트 권녕찬 기자] 반도체 전공정 장비기업 예스티는 경쟁사 HPSP와의 소극적 권리범위확인심판 2건에 대해 재청구했다고 6일 밝혔다. 소극적 권리범위확인심판이란 청구인이 특허권자에게 자신의 발명이 특허권의 권리 범위에 속하지 않는다는 심결을 구하는 심판이다. 서로 다른 특허기술이라는 것은 확인하는 절차다.
앞서 예스티는 지난해 HPSP가 제기한 특허침해소송에 대응해 해당 특허에 대해 3건의 소극적 권리범위확인심판을 제기했다. 하지만 지난달 31일 특허심판원은 예스티의 청구내용이 침해여부를 판단할 만큼 구체적이지 않다는 이유로 각하했다.
예스티는 기술 유출을 최소화하는 전략으로 심판을 청구한 것이 각하의 원인이라고 보고 구체성을 더해 재청구했다. 각하된 3건 중 심판청구서가 준비된 2건에 대해 먼저 심판을 청구했고 나머지 1건에 대해서도 빠른 시일 내에 심판을 재청구할 계획이다.
이번 재청구에서는 어느 정도 기술노출을 감수하고 최대한 청구내용을 구체화해 심판을 청구한 만큼 성과가 있을 것으로 회사는 기대하고 있다.
이번에 심판을 청구한 2건 중 1건은 예스티가 지난 9월 특허등록을 완료한 기술이라고 밝혔다. 최초 청구 당시에는 특허등록이 완료되지 않아 최소한의 구성만을 제시했으나 이제 특허등록을 완료한 만큼 기술 노출에 대한 부담이 없는 상황이라는 설명이다.
이 구조는 HPSP 특허의 핵심요소인 외부회전체결링이 존재하지 않는 구조라고 밝혔다. 외부도어 자체가 회전하는 잠금구조를 가지고 있으며, 이에 따라 내부도어와 외부도어의 움직임이 분리되는 구조로 고압장비에 특화된 예스티의 기술력을 확인할 수 있는 구조라고 부연했다.
나머지 1건의 경우는 특허출원이 완료된 상태다. 현재 특허심사가 진행 중으로, 해당 기술 구조에 대해 예스티는 외부챔버가 완전히 밀폐돼 있고 도어는 하나만 존재하는 구조로 HPSP의 구조와는 다른 구조라고 설명했다. 이 구조에 대해 최초 심판 당시 HPSP는 구체성 및 보정의 적법성만을 주장했을 뿐, 균등(침해) 주장 자체를 하지 않았다고도 밝혔다.
한편 예스티는 이번에 기각된 특허무효심판에 대해서도 새로운 증거를 보강해 특허법원에 항소할 예정이다. 지난달 31일 특허심판원은 3건의 소극적 권리범위확인심판 각하와 동시에 1건의 특허무효심판에 대해서도 예스티의 패소 판정을 내렸다.
예스티 관계자는 "이번 심판 각하와 재청구로 고압어닐링장비 시장 진입 시기가 다소 지연될 것으로 예상된다"며 "다만 그 시간을 최대한 단축하기 위해 재청구와 더불어 양산테스트 이전 절차를 빠르게 마무리해 시장진입시기 지연을 최소화할 것"이라고 말했다.
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